表面氣相沉積強化工藝技術特點
氣相(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)按形成(cheng)的基本(ben)原理,分為化(hua)學氣相(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)(CVD)和(he)物理氣相(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)(PVD)。氣相(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)是在工件表面覆(fu)蓋一(yi)層(ceng)厚度(du)為0.5~10μm的過(guo)渡族元素(su)(Ti、V、Cr、W、Nb等)與C、N、O、B等形成(cheng)的化(hua)合物,或(huo)單一(yi)的金(jin)屬(shu)及非金(jin)屬(shu)涂層(ceng),使零件表層(ceng)改(gai)變化(hua)學成(cheng)分,并(bing)在其表面形成(cheng)...