表面氣相沉積強化工藝技術特點
氣(qi)相沉(chen)積按形成(cheng)的(de)(de)(de)基本原理(li),分為(wei)化(hua)學氣(qi)相沉(chen)積(CVD)和物(wu)理(li)氣(qi)相沉(chen)積(PVD)。氣(qi)相沉(chen)積是(shi)在(zai)工件表面(mian)覆蓋一(yi)層(ceng)厚度為(wei)0.5~10μm的(de)(de)(de)過渡族元素(su)(Ti、V、Cr、W、Nb等)與(yu)C、N、O、B等形成(cheng)的(de)(de)(de)化(hua)合物(wu),或單一(yi)的(de)(de)(de)金屬及(ji)非(fei)金屬涂層(ceng),使零件表層(ceng)改變化(hua)學成(cheng)分,并在(zai)其表面(mian)形成(cheng)...