氣(qi)(qi)相沉(chen)積(ji)按形成(cheng)的基(ji)本(ben)原理(li)，分為化(hua)學氣(qi)(qi)相沉(chen)積(ji)（CVD）和物理(li)氣(qi)(qi)相沉(chen)積(ji)（PVD）。氣(qi)(qi)相沉(chen)積(ji)是在(zai)工件(jian)表(biao)面覆(fu)蓋一層(ceng)(ceng)厚度為0.5～10μm的過(guo)渡(du)族元素(su)（Ti、V、Cr、W、Nb等）與C、N、O、B等形成(cheng)的化(hua)合物，或單一的金(jin)屬及(ji)非(fei)金(jin)屬涂層(ceng)(ceng)，使零件(jian)表(biao)層(ceng)(ceng)改變化(hua)學成(cheng)分，并在(zai)其表(biao)面形成(cheng)功能(neng)性(xing)（例如(ru)超硬耐磨層(ceng)(ceng)）或裝飾性(xing)的化(hua)合物涂層(ceng)(ceng)的新技術，現已廣泛應用于各類(lei)零件(jian)的硬化(hua)處理(li)。沉(chen)積(ji)層(ceng)(ceng)的主要類(lei)別及(ji)特性(xing)見表(biao)3-38。
主(zhu)要應(ying)用的沉積層TiC、TiN涂層有(you)以下(xia)特點：
a. 涂層有很(hen)高(gao)的硬度（TiC：2980～3800HV，TiN：2400HV）、低的摩擦因數和自(zi)潤滑性能，所以抗磨(mo)粒磨(mo)損(sun)性能良(liang)好。
b. 涂層具有很(hen)(hen)高的(de)熔點（TiC：3800℃，TiN：2950℃），化(hua)學穩定性好，基體金屬(shu)在涂層中的(de)溶解(jie)度小(xiao)，摩擦因數較低，因而具有很(hen)(hen)高的(de)抗粘著磨(mo)損能(neng)力，使用中發生冷焊和咬合(he)的(de)傾(qing)向也很(hen)(hen)小(xiao)，而且TiN比TiC更好。
c. 涂(tu)層(ceng)有較強的(de)耐(nai)蝕(shi)性，TiC涂(tu)層(ceng)在(zai)硫酸、鹽酸、氯化鈉水溶液中的(de)耐(nai)蝕(shi)性良好(hao)，而(er)且TiN的(de)耐(nai)蝕(shi)性一(yi)般都比TiC更好(hao)一(yi)些。
d. 涂層在高溫下也具有良好的抗大氣氧化能力（TiC大約可達400℃，TiN大約可達500℃），高于以上溫度，在空氣中的TiC、TiN將被氧化成TiO2而失去其原來的性能。
