氣相(xiang)(xiang)(xiang)沉積(ji)按形(xing)成的(de)(de)(de)基本原(yuan)理(li)(li)，分為(wei)(wei)化(hua)學氣相(xiang)(xiang)(xiang)沉積(ji)（CVD）和物理(li)(li)氣相(xiang)(xiang)(xiang)沉積(ji)（PVD）。氣相(xiang)(xiang)(xiang)沉積(ji)是在工件(jian)表面(mian)覆(fu)蓋一層(ceng)厚度(du)為(wei)(wei)0.5～10μm的(de)(de)(de)過渡族元素（Ti、V、Cr、W、Nb等）與C、N、O、B等形(xing)成的(de)(de)(de)化(hua)合物，或單一的(de)(de)(de)金屬(shu)(shu)及非金屬(shu)(shu)涂層(ceng)，使零(ling)(ling)件(jian)表層(ceng)改變(bian)化(hua)學成分，并在其表面(mian)形(xing)成功能性（例如超硬耐(nai)磨層(ceng)）或裝飾性的(de)(de)(de)化(hua)合物涂層(ceng)的(de)(de)(de)新技術(shu)，現已廣泛應用于各類零(ling)(ling)件(jian)的(de)(de)(de)硬化(hua)處理(li)(li)。沉積(ji)層(ceng)的(de)(de)(de)主(zhu)要類別(bie)及特性見(jian)表3-38。
主要(yao)應用的(de)沉積層TiC、TiN涂層有(you)以下特點：
a. 涂(tu)層有很高的硬度(du)（TiC：2980～3800HV，TiN：2400HV）、低的摩(mo)擦因數和自潤滑性(xing)能，所以(yi)抗磨粒(li)磨損性(xing)能良好。
b. 涂層具有很(hen)高的熔點(dian)（TiC：3800℃，TiN：2950℃），化(hua)學(xue)穩定(ding)性好，基體金(jin)屬在涂層中(zhong)的溶(rong)解度小(xiao)，摩擦(ca)因數較低(di)，因而(er)具有很(hen)高的抗粘著磨損(sun)能力，使(shi)用中(zhong)發生(sheng)冷(leng)焊(han)和咬(yao)合的傾向(xiang)也(ye)很(hen)小(xiao)，而(er)且TiN比(bi)TiC更(geng)好。
c. 涂層有較強的(de)耐(nai)蝕性(xing)，TiC涂層在硫酸(suan)(suan)、鹽酸(suan)(suan)、氯化鈉水溶液(ye)中(zhong)的(de)耐(nai)蝕性(xing)良好，而且TiN的(de)耐(nai)蝕性(xing)一般都比TiC更好一些。
d. 涂層在高溫下也具有良好的抗大氣氧化能力（TiC大約可達400℃，TiN大約可達500℃），高于以上溫度，在空氣中的TiC、TiN將被氧化成TiO2而失去其原來的性能。
