氣(qi)相(xiang)(xiang)沉積(ji)按形(xing)(xing)成的(de)(de)基本原理(li)，分為化(hua)(hua)學(xue)氣(qi)相(xiang)(xiang)沉積(ji)（CVD）和物(wu)理(li)氣(qi)相(xiang)(xiang)沉積(ji)（PVD）。氣(qi)相(xiang)(xiang)沉積(ji)是在工件表面覆蓋一層(ceng)(ceng)厚度為0.5～10μm的(de)(de)過(guo)渡族元素（Ti、V、Cr、W、Nb等(deng)）與C、N、O、B等(deng)形(xing)(xing)成的(de)(de)化(hua)(hua)合物(wu)，或(huo)單一的(de)(de)金屬及非金屬涂層(ceng)(ceng)，使零件表層(ceng)(ceng)改變化(hua)(hua)學(xue)成分，并(bing)在其表面形(xing)(xing)成功能(neng)性(xing)(xing)（例(li)如超硬耐磨層(ceng)(ceng)）或(huo)裝飾性(xing)(xing)的(de)(de)化(hua)(hua)合物(wu)涂層(ceng)(ceng)的(de)(de)新技術，現已廣泛應用于各(ge)類零件的(de)(de)硬化(hua)(hua)處理(li)。沉積(ji)層(ceng)(ceng)的(de)(de)主(zhu)要類別(bie)及特性(xing)(xing)見(jian)表3-38。
主(zhu)要應(ying)用(yong)的沉積層TiC、TiN涂(tu)層有以下特點：
a. 涂層(ceng)有很高的硬度（TiC：2980～3800HV，TiN：2400HV）、低的摩擦因數和自(zi)潤滑(hua)性能，所以抗磨粒磨損性能良好。
b. 涂層(ceng)具(ju)有(you)很高的熔點（TiC：3800℃，TiN：2950℃），化學穩定性(xing)好(hao)，基(ji)體金屬在(zai)涂層(ceng)中的溶解度小(xiao)，摩擦因數較低，因而(er)(er)具(ju)有(you)很高的抗粘著磨損能(neng)力，使用中發生冷焊和咬合的傾向也很小(xiao)，而(er)(er)且TiN比TiC更好(hao)。
c. 涂(tu)(tu)層(ceng)(ceng)有較(jiao)強的(de)(de)(de)耐(nai)蝕性，TiC涂(tu)(tu)層(ceng)(ceng)在硫(liu)酸、鹽酸、氯化(hua)鈉水(shui)溶(rong)液(ye)中的(de)(de)(de)耐(nai)蝕性良好，而且(qie)TiN的(de)(de)(de)耐(nai)蝕性一(yi)般(ban)都比TiC更好一(yi)些。
d. 涂層在高溫下也具有良好的抗大氣氧化能力（TiC大約可達400℃，TiN大約可達500℃），高于以上溫度，在空氣中的TiC、TiN將被氧化成TiO2而失去其原來的性能。
