氣(qi)相沉(chen)(chen)積按(an)形(xing)成(cheng)(cheng)的基本原理(li)，分為(wei)(wei)化(hua)學氣(qi)相沉(chen)(chen)積（CVD）和物(wu)理(li)氣(qi)相沉(chen)(chen)積（PVD）。氣(qi)相沉(chen)(chen)積是在工件(jian)表(biao)面覆蓋一層厚(hou)度為(wei)(wei)0.5～10μm的過渡族元素（Ti、V、Cr、W、Nb等(deng)）與C、N、O、B等(deng)形(xing)成(cheng)(cheng)的化(hua)合(he)物(wu)，或(huo)單一的金(jin)屬及非金(jin)屬涂層，使零件(jian)表(biao)層改(gai)變化(hua)學成(cheng)(cheng)分，并在其表(biao)面形(xing)成(cheng)(cheng)功能性（例(li)如超(chao)硬耐磨層）或(huo)裝飾性的化(hua)合(he)物(wu)涂層的新技(ji)術，現已廣(guang)泛應用于各類零件(jian)的硬化(hua)處理(li)。沉(chen)(chen)積層的主要類別及特性見表(biao)3-38。
主要應用的(de)沉積層TiC、TiN涂層有以(yi)下特點：
a. 涂層有很高(gao)的硬度（TiC：2980～3800HV，TiN：2400HV）、低的摩擦因數和自潤滑性能，所以抗磨粒磨損性能良好。
b. 涂層具有很(hen)高(gao)的(de)熔點（TiC：3800℃，TiN：2950℃），化學(xue)穩定性好，基體金屬在涂層中(zhong)的(de)溶解(jie)度(du)小(xiao)，摩擦因(yin)數較低(di)，因(yin)而(er)具有很(hen)高(gao)的(de)抗(kang)粘著磨損能力(li)，使(shi)用(yong)中(zhong)發生冷(leng)焊(han)和咬合的(de)傾向(xiang)也(ye)很(hen)小(xiao)，而(er)且TiN比TiC更好。
c. 涂(tu)層有(you)較強(qiang)的耐蝕性，TiC涂(tu)層在硫(liu)酸、鹽酸、氯化鈉水溶液(ye)中的耐蝕性良好(hao)，而且TiN的耐蝕性一般都(dou)比TiC更好(hao)一些。
d. 涂層在高溫下也具有良好的抗大氣氧化能力（TiC大約可達400℃，TiN大約可達500℃），高于以上溫度，在空氣中的TiC、TiN將被氧化成TiO2而失去其原來的性能。
