氣相(xiang)沉積(ji)(ji)按形成(cheng)的基本原(yuan)理(li)，分(fen)為化(hua)(hua)學(xue)氣相(xiang)沉積(ji)(ji)（CVD）和物理(li)氣相(xiang)沉積(ji)(ji)（PVD）。氣相(xiang)沉積(ji)(ji)是在(zai)工件表面(mian)覆蓋(gai)一層(ceng)厚(hou)度為0.5～10μm的過渡族元素（Ti、V、Cr、W、Nb等）與C、N、O、B等形成(cheng)的化(hua)(hua)合物，或單一的金屬及(ji)非金屬涂(tu)層(ceng)，使零件表層(ceng)改變化(hua)(hua)學(xue)成(cheng)分(fen)，并在(zai)其(qi)表面(mian)形成(cheng)功能性(xing)（例如超硬耐磨層(ceng)）或裝(zhuang)飾性(xing)的化(hua)(hua)合物涂(tu)層(ceng)的新技(ji)術，現已廣(guang)泛應用于(yu)各類零件的硬化(hua)(hua)處理(li)。沉積(ji)(ji)層(ceng)的主要(yao)類別及(ji)特性(xing)見表3-38。
主要應用的沉(chen)積層TiC、TiN涂層有以下特點：
a. 涂(tu)層有(you)很高(gao)的(de)(de)硬度（TiC：2980～3800HV，TiN：2400HV）、低的(de)(de)摩(mo)擦因數和自潤滑性能，所以抗磨(mo)粒(li)磨(mo)損性能良好。
b. 涂層具(ju)有很高的(de)(de)熔點（TiC：3800℃，TiN：2950℃），化學穩定性好(hao)，基(ji)體金(jin)屬(shu)在涂層中(zhong)(zhong)的(de)(de)溶解度小，摩(mo)擦因(yin)(yin)數較低，因(yin)(yin)而具(ju)有很高的(de)(de)抗粘著磨損能力，使用中(zhong)(zhong)發生(sheng)冷(leng)焊和(he)咬合的(de)(de)傾(qing)向也很小，而且TiN比TiC更好(hao)。
c. 涂層(ceng)有較強的耐蝕性，TiC涂層(ceng)在(zai)硫酸、鹽酸、氯化鈉水溶液(ye)中的耐蝕性良好(hao)(hao)，而且TiN的耐蝕性一般都比TiC更好(hao)(hao)一些。
d. 涂層在高溫下也具有良好的抗大氣氧化能力（TiC大約可達400℃，TiN大約可達500℃），高于以上溫度，在空氣中的TiC、TiN將被氧化成TiO2而失去其原來的性能。
